កម្មវិធីឡាស៊ែរសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងអេឡិចត្រូនិច

មីក្រូម៉ាឈីនសម្រាប់ផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងអេឡិចត្រូនិក

ឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រតំណាងឲ្យកំពូលនៃការផលិតទំនើប ដោយទាមទារភាពជាក់លាក់ដាច់ខាត ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា និងភាពបត់បែននៃសម្ភារៈ។ វិធីសាស្ត្រកែច្នៃបែបប្រពៃណីច្រើនតែបរាជ័យក្នុងការបំពេញតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងនៃគ្រឿងបន្លាស់លំដាប់ខ្ពស់ ដោយសារតែការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅ និងដែនកំណត់ភាពជាក់លាក់។ បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ Femtosecond បើកផ្លូវថ្មីសម្រាប់ការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រកម្រិតខ្ពស់។

ការខួងបន្ទះចែកចាយឧស្ម័ន (ក្បាលផ្កាឈូក)

បន្ទះចែកចាយឧស្ម័ន (ក្បាលផ្កាឈូក) គឺមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់នៅក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ និងដាក់ (CVD/PVD)។ គុណភាពរន្ធតូចៗរបស់វាកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវឯកសណ្ឋាននៃដំណើរការបន្ទះ wafer ដែលតម្រូវឱ្យមានរន្ធតូចៗរាប់ពាន់ដែលគ្មានកំហុសនៅលើបន្ទះតែមួយ។

សមិទ្ធផលបច្ចេកវិទ្យារបស់យើង៖

រន្ធល្អិតល្អន់ខ្លាំង៖ មានសមត្ថភាពខួងរន្ធតូចៗបញ្ឈរតូចរហូតដល់ 20 μm។

ភាពជាក់លាក់ខ្លាំង៖ សម្រេចបានភាពត្រឹមត្រូវនៃអង្កត់ផ្ចិតរន្ធ ±1μm ជាមួយនឹងភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាខ្ពស់នៅទូទាំងអារេបរិមាណខ្ពស់។

ភាពសុចរិតនៃជញ្ជាំងស្តើង៖ រក្សាភាពសុចរិតនៃរចនាសម្ព័ន្ធសូម្បីតែជាមួយនឹងកម្រាស់ជញ្ជាំង 15μm ក៏ដោយ ដោយធានាថាមិនមានរន្ធដែលបញ្ចូលគ្នា ឬបាក់ឡើយ។

ភាពបត់បែននៃសម្ភារៈ៖ ស័ក្តិសមឥតខ្ចោះសម្រាប់លោហធាតុ (អាលុយមីញ៉ូម ដែកអ៊ីណុក) និងវត្ថុធាតុរឹងផុយស្រួយដូចជា ស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC) សេរ៉ាមិច និងស៊ីលីកុន ដែលលុបបំបាត់បញ្ហាប្រេះ។

កាតសាកល្បង និងសាកល្បងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក

នៅក្នុងការធ្វើតេស្តស៊ីមីកុងដុកទ័រ ទង់ដែងប៊ីរីលីញ៉ូម (BeCu) ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយសម្រាប់កាតស៊ើបអង្កេត និងស៊ុមនាំមុខ។ ឡាស៊ែរបោះត្រាបែបប្រពៃណី ឬឡាស៊ែរជីពចរវែងច្រើនតែបណ្តាលឱ្យមានការកោង ដែលធ្វើឱ្យប៉ះពាល់ដល់ស្ថេរភាពនៃការធ្វើតេស្ត។

គុណសម្បត្តិនៃការកាត់ឡាស៊ែរ Femtosecond៖

ការកាត់ដោយគ្មានភាពតានតឹង៖ "ការកាត់ត្រជាក់" ការពារការកោងដោយសារកម្ដៅ ដែលធានាបាននូវភាពរាបស្មើដាច់ខាតសម្រាប់ការប៉ះគ្នារវាងស្នប់និងបន្ទះដែលមានស្ថេរភាព។

គុណភាពគែម៖ ផ្តល់នូវគែមរលោង គ្មានស្នាមប្រេះ និងគ្មានស្លេស ដោយរក្សាលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច និងអគ្គិសនីរបស់ BeCu។

ការគ្រប់គ្រងកម្រិតមីក្រូន៖ ភាពត្រឹមត្រូវនៃវិមាត្រត្រូវបានរក្សាក្នុងរង្វង់ 2μm ដែលបំពេញតម្រូវការនៃអារេស៊ើបអង្កេតដង់ស៊ីតេខ្ពស់។

កម្មវិធីអេឡិចត្រូនិចច្រើនទៀត

ការកាត់យ៉ាងច្បាស់លាស់នៃតួអក្សរ និងលំនាំស្មុគស្មាញ ជាមួយនឹងទទឹងបន្ទាត់ល្អិតល្អន់បំផុត និងមិនមានការខូចទ្រង់ទ្រាយ។

ការកាត់អេឡិចត្រូតអន្តរខ្ទង់ (IDEs) និងរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូនៃសរសៃឈាមតូចៗដែលភ្ជាប់ខ្សែ។

ការខួងរន្ធពិការភ្នែកលើស្រទាប់ទង់ដែង (CCL) និងការកាត់ក្រណាត់ដែលដឹកនាំចរន្តដោយមិនប្រើកាបូន។

ហេតុអ្វីបានជាប្រើឡាស៊ែរ Femtosecond?

បច្ចេកវិទ្យាឡាស៊ែរ Femtosecond គឺជាអនាគតនៃការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។

ការផលិតមួយជំហាន៖ លុបបំបាត់តម្រូវការសម្រាប់ការលុបស្នាមឆ្កូត ឬការសម្អាតក្រោយការសម្អាត ដែលកាត់បន្ថយវដ្តស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ (R&D) និងវដ្តផលិតកម្មយ៉ាងច្រើន។

មិនបំផ្លិចបំផ្លាញ៖ តំបន់ដែលរងផលប៉ះពាល់ដោយកំដៅតិចតួចបំផុត (HAZ) ការពារស្រទាប់កែច្នៃឡើងវិញ និងស្នាមប្រេះតូចៗ ដោយរក្សាលក្ខណៈសម្បត្តិខាងក្នុងនៃសម្ភារៈ។

ផលិតកម្មដែលអាចបត់បែនបាន៖ អាចឱ្យមានការប្ដូរតាមបំណងបានយ៉ាងឆាប់រហ័សតាមរយៈការគ្រប់គ្រងកម្មវិធី។ ល្អសម្រាប់ការផលិតចម្រុះខ្ពស់ បរិមាណទាប និងការឆ្លើយតបរហ័សចំពោះការរចនាបន្ទះឈីបដែលធ្វើម្តងទៀត។